跟著科技的前進和產(chǎn)品技能的不斷提升以及我國對外開放的深化,大批的外資企業(yè)在我國建立其制作基地,特別是近年來半導(dǎo)體職業(yè)的大舉進入,其全新的出產(chǎn)工藝及出產(chǎn)過程中對環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求,需求我們供給一個比較有效且比較低能耗的空調(diào)體系,特別需求有低濕度的空調(diào)環(huán)境確保。
現(xiàn)在,空氣除濕主要有四種辦法,通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕體系中,冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手法。冷卻除濕在環(huán)境對濕度要求不是很高(RH≯60~65%)的條件下,作用仍是比較好,功用安穩(wěn)且能耗也比較低,現(xiàn)在應(yīng)用比較廣泛。但在出產(chǎn)環(huán)境對濕度要求較高(RH=45±5%)的當(dāng)?shù)兀x用冷卻除濕顯著是不經(jīng)濟的。選用轉(zhuǎn)輪除濕機,將不受空氣露點影響,且除濕量大,特別適用于低濕條件下,但如果全部除濕僅選用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機進行,因為其再生耗能量也比較大,此種計劃也不是較經(jīng)濟的。因為轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長,將其優(yōu)化組合,各取所長,互補所短,會更好的發(fā)揮其效能。
2.濕度在半導(dǎo)體職業(yè)中的要求半導(dǎo)體的出產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下,出產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持安穩(wěn)的環(huán)境,特別是關(guān)于出產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織,壓力平衡等多個空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)厲的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境體系的要求,因為電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響,其對濕度的精度提出了嚴(yán)厲要求,關(guān)于空調(diào)體系的裝備,則要求體系一起具有夏日除濕的功用和冬天加濕的功用。一般的,半導(dǎo)體出產(chǎn)職業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2°C,RH=45±5%;而關(guān)于這個溫濕度要求,傳統(tǒng)上經(jīng)常選用冷凍除濕+后加熱(再熱)辦法進行處理,并取得了必定成果。但這種辦法卻存在著一個致命問題,冷熱的抵消和能耗的巨大糟蹋,特別是因為半導(dǎo)體職業(yè)的大新風(fēng),大排風(fēng)體系、出產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及現(xiàn)在許多廠主要集中散布在華南和華東地區(qū)的特殊狀況,使得這個問題十分杰出。因而,在較新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)體系開始使用新風(fēng)經(jīng)過新風(fēng)機組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機聯(lián)合處理濕度、溫度然后經(jīng)往后空調(diào)機組處理的組合辦法,到達室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求,并取得了顯著收益。
3.工程實例一、設(shè)計條件及要求:a、室內(nèi)要求:T=22±2℃;RH=50±5%;TL=11.5℃;d=8g/kg;b、潔凈等級:10K(10000級);c、體積:S=2000m2;H=2.8m;d、工作人員:30名,車間無工藝濕負荷;e、新風(fēng)量:9500m3/h;f、送風(fēng)量:120000m3/h,正壓5~10PA;g、室外環(huán)境條件:T=35℃;RH=70%;d=25g/kg;
二、空調(diào)體系設(shè)計計劃及優(yōu)缺點:a、計劃A:新風(fēng)機組(MAHU)+組合式空氣處理機組(AHU),其空氣處理過程如下:新風(fēng)過濾經(jīng)表冷處理后與房間回風(fēng)混合,再經(jīng)表冷器處理到機器露點(TL=12℃)后再加熱至送風(fēng)溫度(T=18.5℃)后,統(tǒng)一送風(fēng)到車間。剖析如下:因為車間內(nèi)部的露點溫度為11.5℃,并且設(shè)計條件中車間內(nèi)無其他工藝濕負荷。根據(jù)這種條件,我們假定車間內(nèi)部沒有任何產(chǎn)濕量,則需求送風(fēng)露點和車間相同為11.5℃,這時關(guān)于新風(fēng)和回風(fēng)到達11.5℃露點所需求的冷量為:新風(fēng)冷負荷:9500*1.2*(101.2-32.2)/3600=162Kw;(新風(fēng)預(yù)冷至18℃,95%)回風(fēng)冷負荷:120000*1.2*(44-33)/3600=440Kw總計:162+440=602Kw;而在處理空氣露點溫度到達車間露點溫度后,需求進行加熱補償,以確保送風(fēng)溫度的要求,這時所需求的再熱量為:再熱負荷:120000*1.2*(39.8-33)/3600=272Kw總能耗為:冷:602Kw.熱:272Kw.從上述剖析和核算可得出,能耗抵消為:272Kw但實際上,車間內(nèi)部因為人員的工作,保護結(jié)構(gòu)的表里的水蒸汽分壓力差以及車間門的敞開等要素,車間內(nèi)不可避免的存在濕負荷,這要求送風(fēng)露點溫度應(yīng)略低于車間內(nèi)部露點溫度,這會導(dǎo)致更大的冷熱能耗抵消。
一般的,因為新風(fēng)的焓值十分高,無法經(jīng)過新風(fēng)表冷器直接將新風(fēng)冷卻到11℃露點溫度。所以經(jīng)常選用新風(fēng)和回風(fēng)混合后,再表冷器處理的辦法進行操作。一起,這種空調(diào)體系不僅要求在夏日可以一起滿意制冷(控溫文除濕)和供熱(滿意濕度要求)功用;并要求在某些過渡季節(jié)甚至冬天相同需求敞開制冷機組,意圖僅僅是除濕(對新風(fēng)進行降溫除濕)。然后再經(jīng)往后加熱補償?shù)霓k法,重新操控室內(nèi)的溫度要求,糟蹋了大量的能源更為嚴(yán)重的是,在某些狀況下,后加熱的裝備量往往偏低,特別是后加熱器選用電加熱時,這種狀況更為常見。這時的空氣因無法得到足夠高的送風(fēng)溫度而導(dǎo)致車間內(nèi)部的相對濕度偏高,這種狀況下,要求制冷機組需求將送風(fēng)露點(溫度)進一步下降,而在送風(fēng)露點下降時,溫度隨之下降然后導(dǎo)致車間內(nèi)部的濕度無法得到嚴(yán)厲確保。關(guān)于制冷機組,需求將空氣處理到11℃露點溫度,因而要求冷水溫度一般為5~10℃。但在這種工況下,制冷機組的功率也往往會有所衰減,然后需求裝備較大容量的制冷設(shè)備,引起先出資的增加。
b.計劃B:新風(fēng)機組(MAHU)+轉(zhuǎn)輪除濕機組(Dehumidifier)+組合式空氣處理機組(AHU),其空氣處理過程如下:新風(fēng)過濾,經(jīng)過新風(fēng)表冷器,一般處理到18℃露點,之后經(jīng)過轉(zhuǎn)輪除濕機進行等焓除濕(空氣露點為4℃,d=5.2g/kg,T=42℃);除濕后的干熱空氣再和回風(fēng)混合后(T=23.5℃,d=7.9g/kg),經(jīng)往后表冷器進行干工況降溫處理到送風(fēng)溫度(18.5℃),送風(fēng)到車間。能耗為:新風(fēng)表冷冷負荷:9500*1.2*(101.2-50)/3600=162Kw除濕機能耗:125Kw后空調(diào)冷負荷:120000*1.2*1.005*(23.5-18.5)/3600=201Kw總能耗為:冷:363Kw.熱:125Kw.c.計劃比較:傳統(tǒng)冷凍除濕+后加熱體系轉(zhuǎn)輪除濕機體系新風(fēng)表冷能耗162Kw162Kw后表冷器能耗440Kw201Kw電加熱能耗272Kw125Kw總能耗(折算為電能):383.8Kw193Kw由上述剖析和核算可得出,使用轉(zhuǎn)輪除濕機體系和傳統(tǒng)的冷凍除濕機+后加熱器辦法,能耗節(jié)約為45%左右。一起,因為轉(zhuǎn)輪除濕機可以將新風(fēng)進一步除濕干燥,以抵消車間的其他室內(nèi)濕負荷,尤其是在體系初期調(diào)試及房間發(fā)熱量不足(即出產(chǎn)開工不足)期間,這種體系運行愈加可*,安全性更好,完全可以滿意半導(dǎo)體潔凈車間全天候的出產(chǎn)要求。
4.轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)體系的特性轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)體系,便是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)體系與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合,使用制冷體系的吸熱除濕進行前期除濕,而使用轉(zhuǎn)輪除濕機進行深度除濕。冷卻除濕在必定的范圍內(nèi)除濕作用好,且功用安穩(wěn),但當(dāng)濕度要求較低時,冷卻除濕的能力顯著下降,此刻選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕體系,可以到達很好的作用。冷卻除濕作為前期除濕,杰出了冷卻除濕機高露點工況下能耗低的特點,使用轉(zhuǎn)輪除濕進行深度除濕,杰出了轉(zhuǎn)輪除濕機低溫低濕條件下,不受露點約束且除濕量大的優(yōu)點。此體系常用的處理流程如下:1:冷卻除濕;2:轉(zhuǎn)輪除濕;3:等濕冷卻;5:再生加熱;6:絕熱再生5.結(jié)論在低濕環(huán)境條件下,選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)體系具有僅冷卻除濕機不可比擬的優(yōu)越性。