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轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用淺析

轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)的工作原理。工業(yè)轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)以其顯著的節(jié)能和環(huán)保優(yōu)勢,被公認(rèn)為21世紀(jì)代替緊縮制冷除濕的技能之一。該機(jī)能快速、簡單、有效地降低空氣濕度,有效解決常溫低濕、低溫低濕等其他冷凍辦法無法到達(dá)的除濕領(lǐng)域。特別是經(jīng)過配套組合處理后,空氣露點(diǎn)可達(dá)-70℃以下;此外,工業(yè)余熱、廢熱、太陽能、天然氣等低檔次熱能可作為可再生能源,無環(huán)境污染,能耗低。

半導(dǎo)體工業(yè)中的濕度要求半導(dǎo)體出產(chǎn)廠在一年四季的氣候條件下堅(jiān)持出產(chǎn)車間的安穩(wěn)環(huán)境,特別對出產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織、壓力平衡等空調(diào)參數(shù)提出了嚴(yán)厲的要求。不同于其他恒溫恒濕環(huán)境體系的要求,因?yàn)殡娮赢a(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其質(zhì)量的影響,對濕度精度提出了嚴(yán)厲的要求。

關(guān)于空調(diào)體系的裝備,要求體系在夏季一起具有除濕功能和冬季加濕功能。一般來說,半導(dǎo)體出產(chǎn)行業(yè)的溫度和濕度條件為:t=22±2°c,相對濕度=45±5。關(guān)于這種溫度和濕度要求,冷凍除濕然后加熱(再加熱)傳統(tǒng)上用于處理,并且已經(jīng)取得了某些結(jié)果。但是,這種方式存在著喪命的問題,冷熱的抵消和能源消耗的巨大糟蹋,特別是因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)新鮮空氣大、排氣體系大、出產(chǎn)環(huán)境清潔空間大,以及許多工廠首要分布在華南和華東的特殊情況,使得這個(gè)問題十分突出。

依據(jù)不同的產(chǎn)品和出產(chǎn)工藝場合、房間巨細(xì)、熱量和水分耗散、溫度和濕度要求、清潔度要求等進(jìn)行選型。在進(jìn)行選型設(shè)計(jì)時(shí),有必要進(jìn)行清楚的咨詢。

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